近日，上海超硅半导体股份有限公司携12英寸大尺寸半导体硅片等产品亮相2025湾区半导体产业生态博览会。上海超硅长期深耕高端半导体材料领域，致力于为加快国产供应链安全、自主、可控贡献力量，为推动国产芯片先进制程快速发展提供动能。

　　据悉，上海超硅实现了国产单晶炉的自主可控。公司凭借对晶体生长设备、软件系统与工艺控制技术的全面掌握，成为全球极少数具备这一综合能力的企业之一，其技术先进性已获得下游国际头部厂商的广泛认可。实现了国产单晶炉的自主可控。

　　在半导体硅片制造中，晶体生长是决定硅片内在品质的核心环节，直接关系到晶体的纯度、缺陷密度及尺寸参数。随着半导体产业对硅片质量要求日益提升，晶体生长工艺正向高精度、热场优化与精细化控制方向发展。相较于外购设备，上海超硅自主设计的单晶炉能够实现严格把控晶体生长环节的品质控制及迭代升级，并通过定制化生产快速响应客户的差异化需求。

　　单晶炉作为关键工艺装备，公司在温控系统、热场结构、旋转提拉机制、自动化控制系统等方面的持续迭代，为晶体生长工艺的创新提供关键的硬件支撑。上海超硅在这方面的自主能力也赢得了国际市场的信任。据悉，全球硅片龙头企业之一的环球晶圆，正计划扩充先进制程硅片产能，已与上海超硅达成合作意向，采购其单晶炉用于先进制程晶体生长。

　　在SOI硅片制造领域，上海超硅同样取得重大突破，成功实现SOI硅片剥离机与氢离子注入机的自主可控，使公司在市场竞争中能够减少对外部设备供应商的依赖，并为开发12英寸SOI硅片奠定了技术和产能基础。

　　上海超硅等国产半导体硅片厂商在核心设备方面的突破，不仅是国内企业技术攻坚的成果，更体现了我国半导体产业链在高端领域取得实质性进展。从产业层面看，国产硅片核心设备的成熟，为先进制程芯片的国产化提供了材料基础。 （邹易）